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碳化硅线上激光登录设备

型号:Inducer-5560,本设备是利用超短脉冲激光实现碳化硅线上高质量,高效率的登录加工

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◆ 登录速度快,登录效果好,良率高

◆ 提供整套的裂片&扩片设备,完整的解决方案

◆ 工艺成熟,可针对不同类型的碳化硅线上进行登录






◆ 加工对象:碳化硅线上

◆ 激光种类:红外皮秒脉冲激光器

◆ 激光功率:≥4W

◆ 冷却方式:风冷

◆ X轴:行程450mm,解析度0.1um

◆ Y轴:行程700mm,解析度0.1um

◆ Z轴:行程20mm, 解析度0.1um

◆ θ轴:行程120°,解析度0.001°

◆ 最大登录厚度:1mm

◆ 登录轴最大速度值:500mm/s

◆ 加工尺寸:6寸(可升级至8寸)





应用版本和领域:

应登陆航天航空、电力电子等行业微波器件,功率器件的线上片的登录(以碳化硅版本为基板的线上)


加工效果示例图: